半导体行业——氢氟酸中毒危害及个人防护

　氢氟酸档案

　　氢氟酸：Hydrofluoric Acid; CAS：7664-39-3

　　分子式：HF 分子量：20.2；

　　俗名：氟酸、白骨酸、化骨水、洗钻水、除锈剂、酸洗等；

　　特征：具有刺激气味及剧毒性，属于中等强度偏弱的酸，与金属氧化物、氢氧化钠和碳酸盐反应生成金属氟盐，具有溶解硅和硅酸盐的性质，与三氧化硫或氯磺酸生成氟磺酸，与卤代芳烃、醇、烯、烃类反应生成含氟有机物，溶于水生成腐蚀性很强的酸；

　　用途：氢氟酸主要用于半导体行业和玻璃蚀刻剂，因为硅的化学性质不活泼,常温下不与水、空气、酸反应，与强碱反应。

　　注意事项：氢氟酸如不当使用可能对人体的严重危害，其暴露途径包括皮肤及黏膜接触、呼吸道吸入及肠胃道摄入，皮肤若接触到50％以上较高浓度的氢氟酸，会立刻引起疼痛、泛白、红肿反应，1至2小时内产生水泡，6至24小时则会坏死及溃烂，若接触到10％以下较低浓度者，则往往于6小时或更长时间才发生疼痛等症状，因此常被当事人忽略而太晚处理，最后造成永久性伤害，一般常见受伤害的部位为手指。另外，如呼吸道、肠胃道等其它途径暴露，将产生咳嗽、烧灼感及呼吸困难等症狀，或造成腹痛、恶心、吐血、肠道穿孔等症狀。氢氟酸对人体的伤害，除了酸性腐蚀伤害外，进入人体的氟离子可能与钙、镁离子结合，导致血钙过低、血镁过低和血钾过高，进而影响神经和心脏血管系统。

　　使用氢氟酸时应避免与身体接触，包括皮肤、眼睛及呼吸道等，预防皮肤接触时需佩戴氟化聚乙烯（PVDF）、天然橡胶等材质之手套为佳，不要使用布质及棉质手套，并于易飞溅场合应做到全身防护，可使用连身式防护服、防化靴/工作靴，眼部应使用护目镜或全面式面罩。若不慎遭到氢氟酸腐蚀，应尽速采用大量的清水冲洗患部至少30分钟，直到身上看不到任何附着的固体或液体，并尽速送医，就医时应携带所接触的化学品，以提供医护人员及时进行正确诊疗。 氢氟酸分子小渗透力强，如不清洗彻底将产生蚀骨的永久性伤害，直至节肢；

　　危害、防护和紧急处理

　　健康危害： 对皮肤有强烈的腐蚀作用。灼伤初期皮肤潮红、干燥。创面苍白，坏死，继而呈紫黑色或灰黑色。深部灼伤或处理不当时，可形成难以愈合的深溃疡，损及骨膜和骨质。本品灼伤疼痛剧烈。眼接触高浓度本品可引起角膜穿孔。接触其蒸气，可发生支气管炎、肺炎等。

　　慢性影响：眼和上呼吸道刺激症状，或有鼻衄，嗅觉减退。可有牙齿酸蚀症。骨骼Ｘ线异常与工业性氟病少见。

　　燃爆危险：本品不燃，剧毒,具强腐蚀性、强刺激性，可致人体灼伤。

　　皮肤接触：立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗至少15分钟。就医。

　　眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。就医。

　　吸入： 迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。